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半導(dǎo)體廠送風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)原則

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    半導(dǎo)體廠送風(fēng)系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)原則

    環(huán)境穩(wěn)定性:確保生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)溫度、濕度和潔凈度恒定,減少環(huán)境因素對(duì)半導(dǎo)體器件生產(chǎn)的影響。

    系統(tǒng)可靠性:送風(fēng)系統(tǒng)需具備高可靠性,以降低系統(tǒng)故障對(duì)生產(chǎn)的影響。

    節(jié)能減排:在保證生產(chǎn)環(huán)境的前提下,盡可能降低能耗,減少對(duì)環(huán)境的影響。

    智能化管理:利用現(xiàn)代自動(dòng)化控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的智能化管理。


送風(fēng)系統(tǒng)



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